Новини

  • Поделиться в VK
  • Поделиться в Facebook
  • Поделиться в Google+
  • Поделиться в Twitter
  • Количество просмотров 100

16 квітня 2018 року

Експериментально-технологічна установка для нанесення та травління покриттів

Експериментально-технологічна установка для нанесення та травління покриттів

На кафедрі матеріалів реакторобудування та фізичних технологій завдяки Фонду розвитку і модернізації навчально-наукового обладнання ХНУ імені В.Н. Каразіна було Модернізовано експериментально-технологічної установку для нанесення та травління покриттів.

Робота виконувалась на базі науково-дослідної лабораторії діагностики плазмових технологічних процесів кафедри матеріалів реакторобудування та фізичних технологій ФТФ. Основним об’єктом модернізації є високовакуумна технологічна установка УРМ-3. В залежності від потреб конкретних технологічних процесів, до складу одночасно працюючого технологічного обладнання можуть бути включені різні компліментарні плазмові модулі, розроблені на кафедрі, зокрема:

– магнетрон постійного струму;

– джерело плазми та активованих частинок на базі ВЧ індукційного розряду;

– джерело високоенергетичних іонів на базі розряду в схрещених ЕН полях;

– джерело низькоенергетичних іонів на базі ВЧ індукційного розряду;

– система поляризації зразків комбінованими електричними полями (ВЧ, постійне, імпульсне).

розроблено програмне забезпечення.

На даному етапі було модернізовано вакуумну систему шляхом заміни дифузійного насосу на турбомолекулярний насос та виготовлено цифровий вимірювальний комплекс.