Кафедру було створено 1 вересня 2012 шляхом злиття трьох кафедр: матеріалів реакторобудування; фізичних технологій; електрофізики і радіаційних технологій.
Кафедра матеріалів реакторобудування
Кафедра була утворена в 1962 році.
Ініціатором створення кафедри та її першим завідувачем був академік АН України
Віктор Євгенович Іванов,
який очолював кафедру з 1962 по 1969 рік.
З 1964 по 1980 рік В.Є. Іванов був директором ХФТІ.
Учень академіка В.Є. Іванова, доктор технічних наук, професор
Євген Петрович Нечипоренко.
Завідував кафедрою з 1975 по 1996 рік.
Кафедра фізичних технологій
Кафедра фізичних технологій була заснована в 1993 році.
Засновник і перший завідувач кафедрою - доктор фізико-математичних наук, професор
Рожков Алім Михайлович (1936-1994).
Фаренік Володимир Іванович (завідував кафедрою з 1994 по 2012 рік)
Директор Наукового фізико-технологічного центра Міністерства оствіти і науки та Національної академії наук України. Кандидат физико-математических наук, доцент.